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龙门工业显微检测
工作原理:

谱华森生物科技LMM龙门显微检测设备,专门针对大尺寸晶圆、PCB板、工业板材等材料表面微观缺陷设计的大型龙门结构三维扫描装置,具备大范围对焦跟踪扫描、落射/透射偏光成像等功能,采用龙门双驱结构实现高精度扫描,支持超大图像拼接预览。


项目

参数

行程(mm)

最大支持500mm

电机类型

伺服/直线电机

重复定位精度(μm)

±1

最大速度(mm/s)

50

物镜个数

5个,最高支持50倍物镜

扫描速度

最快支持70帧/秒

图像处理

支持超大图像拼接,快速预览


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